01

薄膜产品

• BTOI 薄膜工程晶圆（对标 LNOI）
• BTO/SOI、BTO/Si₃N₄ 集成晶圆
• BTO/其他衬底晶圆（蓝宝石、MgO、GaN、玻璃等）
• 2-8 英寸单晶高温超导薄膜晶圆

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02

薄膜沉积设备

• 2-8 英寸晶圆级 PLD 沉积设备
• 桌面紧凑型脉冲激光薄膜沉积系统

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03

薄膜测试与量测设备

• 2 英寸晶圆激光加热系统
• 原位电子衍射（RHEED）薄膜量测系统
• 桌面紧凑型低温输运测量系统

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04

组件与耗材

• 薄膜沉积设备组件
• 各类氧化物靶材
• 各类氧化物晶圆、衬底及耗材

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